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當前位置:首頁產品中心半導體光學檢測系列SiC襯底位錯缺陷無損檢測系統

  • 碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統

    碳化硅襯底檢測,碳化硅成像檢測,碳化硅襯底位錯缺陷光學無損檢測系統:最高檢測速度:<17min/片(6“);BPD、TSD、TED分類識別。

    更新時間:2025-05-07
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